- 고해상도 분석·나노가공·실습 교육까지… 정밀 연구인프라 고도화

▲국립순천대 공동실험실습관 FIB-SEM(좌)과 FE-TEM(우) 도입

국립순천대학교(총장 이병운)가 나노 단위 정밀 가공부터 원자 수준 분석까지 가능한 첨단 장비를 새롭게 구축하며, 정밀과학 연구의 지평을 넓히고 있다. 국립순천대 공동실험실습관은 2025년 FIB-SEM(Focused Ion Beam-Scanning Electron Microscope)과 FE-TEM(Field Emission-Transmission Electron Microscope) 등 고해상도 정밀분석장비 2종을 도입하고, 고도화된 연구·교육인프라를 본격 가동한다고 밝혔다.

이번 장비 구축은 첨단소재, 반도체, 나노기술, 생명과학 등 다양한 분야의 정밀 가공 및 고해상도 분석 수요에 대응하기 위한 것으로, 연구 역량 강화는 물론 실험실습 교육의 품질 향상에도 크게 기여할 것으로 기대된다.

FIB-SEM은 집속 이온빔을 시료 표면에 주사하여 발생하는 전자 및 이온 신호를 분석함으로써 시료의 표면 및 단면을 고해상도로 관찰할 수 있는 장비다. 나노 단위의 정밀 가공이 가능하며, 특히 반도체 단면 가공, 3차원 구조 분석, TEM 시편 제작 등 고정밀 분석에 널리 활용된다.

FE-TEM은 전자빔을 시료에 투과시켜 원자 수준의 미세 구조를 관찰할 수 있는 고성능 장비로, 재료의 내부 구조, 결정 구조, 성분 분석(EDS 연계) 등 다양한 고정밀 분석에 필수적인 도구로 평가된다. 과학 및 공학 분야의 기초·응용 연구에 폭넓게 활용 가능하다.

국립순천대 이민아 공동실험실습관장은 “이번 첨단 장비 도입을 통해 교내외 연구자와 산학협력 기업, 외부 연구기관의 다양한 분석 수요에 효과적으로 대응할 수 있는 정밀 연구 기반을 마련하게 됐다”라며, “앞으로도 고성능 분석 장비 인프라를 지속적으로 확충하고, 학생 실습 교육에도 적극 활용하여 지역 연구 거점의 역할을 더욱 강화해 나가겠다”고 밝혔다.

Sunchon National University Establishes Advanced Precision Analysis Infrastructure with New FIB-SEM and FE-TEM Equipment

Sunchon National University (President Lee Byung-woon) is expanding the frontiers of precision science research by introducing cutting-edge equipment capable of nano-scale fabrication and atomic-level analysis. The university’s Shared Experimental Practice Center announced the installation of two high-resolution precision analysis instruments in 2025: the FIB-SEM (Focused Ion Beam-Scanning Electron Microscope) and the FE-TEM (Field Emission-Transmission Electron Microscope), marking the official launch of its upgraded research and education infrastructure.

The new equipment was introduced to meet growing demands for precision fabrication and high-resolution analysis in diverse fields such as advanced materials, semiconductors, nanotechnology, and life sciences. It is expected to significantly enhance both research capabilities and the quality of experimental training.

The FIB-SEM uses a finely focused ion beam to scan the surface of a sample, detecting electron and ion signals to produce high-resolution images of surface and cross-sectional structures. It also enables nano-scale fabrication and is widely used for semiconductor cross-sectioning, 3D structural analysis, and the preparation of TEM specimens.

The FE-TEM allows high-performance imaging by transmitting an electron beam through a sample to observe atomic-level microstructures. It is an essential tool for high-precision analysis of internal material structures, crystallography, and composition (with EDS integration), supporting a wide range of fundamental and applied research in science and engineering.

Lee Min-ah, Director of the Shared Experimental Practice Center, stated, “With the adoption of this advanced equipment, we have established a robust foundation for precision research that can effectively support the analysis needs of internal researchers, industry partners, and external institutions.” She added, “We will continue to expand our high-performance research infrastructure and actively utilize it in student training, thereby strengthening Sunchon National University's role as a regional research hub.”